Wie in Schief anisotrope Ätzen Berechnen

Identifizierungsfehl- oder Fehlanpassung der Zellen - in anisotropen Ätzen erfordert eine Berechnungsmethode namens " Zeitausgleich . " Das kann man sehen , wenn Sie die Lösung ein Algorithmus verwendet, wenn die Simulation der Ätzprozess von Silizium in eine EDV, KOH oder TMAH-Lösung . Wenn der Zellularautomaten (CA )-Verfahren zum Ätzen Simulation verwendet wird, wird das Substrat durch einzelne Zellen , die in einer kristallinen Gitterstruktur enthalten sind, dargestellt . Anleitung
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Schreiben Sie die Gleichung , um die Anzahl von Etch Schritte zu bestimmen. Dies wird als N (t ) = [ M /E (s ) T ] t ausgedrückt. Ein Standardwert 1 wird verwendet für T. Der Wert von M ist ein Vielfaches von E ( n) T. Der Wert von E (n) [0,1] .
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Schreiben Sie die Gleichung , um das Äquivalent Ätzrate des Oberflächenmaterials zu bestimmen. Dies wird ausgedrückt als: .

E ( s) = M /N ( t) T = M /(M /E (n) T) T = E ( en) von M

nicht ein Vielfaches von E ( n) T, dann wird ein Konflikt auftreten, weil das Ätzen der nächsten Zelle nicht sofort starten.
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Notieren Sie für " k ", die wird verwendet, um einen Ätzschritt zu identifizieren. Der nächste Schritt in der Etch- Verfahren ist als k + 1 bezeichnet. Beachten Sie die Zeit für eine Bilanz Ätzschritt als Tb (k).
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Schreiben Sie die Gleichung verwendet, um den Zeitausgleich zu berechnen.

M ( k) > : Diese Gleichung wird wie folgt ausgedrückt E (s ) (T + Tb (k-1 )

dann

T (k) = T + Tb (k-1 )

M (k +1 ) = M (k ) - E (n) T (k )

Tb ( k) = 0

sonst

T (k) = M (k) /E ( en) von

M (k +1 ) = 0

Tb ( k) = T - T (k )

Das Ergebnis der ZeitkompensationsverfahrenErgebnisse in einer Gleichung , die wie folgt ausgedrückt wird :

E ( s) = M ( k) /T ( k) = E (s ) für einen Ätzschritt k