Wie man den Widerstand von Carbon Nanotubes messen
Alle lebenden Organismen auf dem Planeten sind auf Kohlenstoffbasis , aber auch neue Technologien entwickelt, die auf unterschiedlichen Allotropen (eine Form eines Elements ) aus Kohlenstoff verlassen. Kohlenstoff-Nanoröhrchen sind Einzel-/Doppelschicht -Folien aus Kohlenstoff ( Graphit) , die bis zu zylindrischen Strukturen aufgerollt sind . Obwohl Kohlenstoff-Nanoröhren haben seit 1952 untersucht worden, die technologische Anwendungen waren nicht wirklich vor 1991 geschätzt. Der elektrische Widerstand von Kohlenstoff-Nanoröhren können durch die Durchführung einer einfachen Lithographie -Muster und mit ein multimeter.Things Sie
Kohlenstoff-Nanoröhren Brauchen bestimmt werden auf Silizium- Substrat
Photoresist
Elektroden Foto Muster
Herdplatte Elles Foto mask Aligner
Verdampfer
Aceton
Multimeter
1cm Golddraht
Zeigen Sie mehr Anleitung
1
auf dem Spannfutter der Spin-Coater Legen Sie die Kohlenstoff-Nanoröhrchen Probe. Legen Sie ein paar Tropfen auf die Probe zu widerstehen . Starten Sie den Spin- Coater . Ein Rezept sollte verwendet werden, die auf etwa 1.000 nm wider führt . Für die Resist- S1813 , verwenden Sie ein Rezept von 4.000 Umdrehungen pro Sekunde für 60 Sekunden
2
Entfernen Sie die Probe aus der Spin- Coater , wenn die Spinn gestoppt hat. Legen Sie die Probe auf einer heißen Platte . Abhängig von der Art des Resists verwendet wird, wird die Zeit und Temperatur variieren. Konsultieren Sie die Dokumentation zu widerstehen , um eine optimale Temperatur und Zeit auf der heißen Platte zu bestimmen. Für S1813 wider , backen Probe für 3 Minuten bei 100 Grad Celsius.
3
Legen Sie die Probe in die Mask Aligner und setzen eine einfache zwei Elektroden Maske auf die Probe. Die freigelegten Teile der Probe wird chemisch verändert werden , so dass sie unter Verwendung eines chemischen als Entwickler bekannt sind, können entfernt werden.
4
Legen Sie die Probe in die Resistentwickler . Die Zeitdauer, in der Entwickler hängt von der einzelnen zu widerstehen. Konsultieren Sie die wider und Entwickler- Spezifikationen für typische Zeiten. Die Teile der Probe, die belichtet wurden, werden so dass ein Muster entfernt werden. Metall kann in diesem Muster aufgebracht, um Elektroden zu erzeugen. Legen Sie die Probe in einen Verdampfer und Ort 1cm von Golddraht in der Verdampfungstiegel . Kaution ca. 100 nm Gold.
5
Legen Sie die Probe in Aceton . Aceton entfernt alle Teile der Resist , die ausgesetzt wurden , so dass ein Goldmuster . Schalten Sie das Multimeter und wählen Sie die Widerstandsfunktion . Legen Sie ein Multimeter -Sonde auf jeder Elektrode . Das Display sollte jetzt zeigen den Widerstand zwischen den Elektroden . Der gemessene Widerstand ist aufgrund der Strom zwischen den Elektroden fließt ( durch den Kohlenstoffnanoröhren ) .