Die Wirkung von Mikrostrukturen Radierung auf Metallic

Der Prozess der Anwendung dünne Metallfolienist ein wichtiger Teil der Halbleiterindustrieund Magnetismus . Die beiden Haupttypen von Verarbeitungs beinhalten das Wachstum von Metallfilmen und das Ätzen der Metallschichten . Wachstum umfasst die Abscheidung eines metallischen Materials durch ein Verfahren , wie Verdampfung oder Sputtern . Ätzen ist der umgekehrte Vorgang und beinhaltet die Entfernung selektive Material durch Belichtung mit einer bestimmten chemischen oder durch Beschuß des Materials mit ionisierten Gasmoleküle . Radierung

Radierung ist die selektive Entfernung von Material . Es gibt zwei Möglichkeiten, um Material zu ätzen. Eine chemische Ätzung wird oft verwendet, um ein bestimmtes Material selektiv zu entfernen, während andere Bereiche der Probe intakt. Ein Beispiel ist die Verwendung von Fluorwasserstoffsäure Siliciumdioxid selektiv zu entfernen . Ein zweiter Weg zu ätzen ist , um die Probe in eine Vakuumkammer platzieren Einführung eines Gases, wie Argon. Das Argon wird dann durch einen Satz von Elektroden ionisiert und gegen die Probe . Die Ionen bombardieren die Probe und Material zu entfernen. Da alle Teile der Probe bombardiert werden , ist es nicht eine selektive Ätzung und alle freiliegenden Flächen müssen Material entfernt .
Reduzierung der Blechdicke

Machen metallische Probe auf einen Etch wird Dicke der Probe zu reduzieren. Dies ist oft das gewünschte Ergebnis der Ätzung . Um eine bestimmte Menge an Material zu entfernen , muss das Metall zum Ätzen für eine bestimmte Zeit ausgesetzt werden , beispielsweise eine Minute. Die Dicke muss dann um eine Ätzrate , wie 10 Nanometern pro Sekunde zu messen.
Film Rauheit

Obwohl das Ziel mit einem Etch ist es, die Blechdicke zu reduzieren, dies in der Regel ihren Preis . Der Metallfilm Rauhigkeit kann eine sehr wichtige Größe sein und ist typischerweise mit einem Gerät namens ein Atomkraftmikroskop gemessen. Im Allgemeinen ist die mehr Material geätzt wird, desto größer ist die Metallschicht Rauheit wird .
Korngröße

Metallic Folien bestehen aus vielen Millionen von winzigen Körner, die in der Regel in sind der Größenbereich von 5 bis 100 Nanometer . Als metallische Folien geätzt werden, kann die mittlere Größe der Körner der Größe reduziert werden , aber dies ist in hohem Maße abhängig von der Art der Ätzung der Ätzzeit und Ätzen Strom wenn es ein Ionenätzen .